音频质量至关重要。正因如此,电容式麦克风与驻极体电容式麦克风(ECM)在广泛的应用场景中仍主导着高保真声音采集性能,这一点尤为引人注目。贝尔实验室开创了这两项基础技术:电容式麦克风可追溯至1916年,最初由西方电气公司实现商业化;而索尼则于1968年开始大规模生产ECM。尽管二者音质丰富,却因多种原因并不理想:电容式麦克风体积大、成本高;ECM不兼容回流焊工艺,且通常存在器件间一致性差的问题。这使得它们难以适用于依赖表面贴装技术流程的智能手机及其他大批量消费电子产品。
2000年代初,楼氏电子(Knowles)在摩托罗拉Razr手机中首次商用化电容式MEMS麦克风,有效解决了ECM的诸多缺陷。得益于其与消费电子产品大规模制造的高度兼容性,电容式MEMS麦克风迅速成熟,并于2010年全面进入高产量智能手机与笔记本电脑市场。
凭借市场成功,电容式MEMS麦克风需求激增,据Yole集团预测,到2030年全球出货量将达到92亿颗。虽然该类麦克风具备回流焊兼容性、优异的器件间灵敏度一致性以及小巧尺寸等优势,但其技术已趋近物理极限:固有结构限制了信噪比(SNR)与声学过载点(AOP),而这两大指标恰恰是高保真音频性能的核心要素。
音频性能亟需追赶视频进步
新款智能手机的摄像与视频质量令人惊叹。例如iPhone 17 Pro Max配备四颗摄像头,其中三颗后置镜头均采用4800万像素传感器,性能堪比顶级独立数码相机。
智能手机的视频质量同样出色,高端机型已支持8K内容录制。
相比之下,音频性能却严重滞后。当前最高端的数字MEMS电容麦克风,其SNR上限仅处于70dB低段区间,动态范围低于110dB,无法同时满足低本底噪声与高过载能力的双重需求。
先进电容式MEMS麦克风至少包含一片振膜(或称振膜片)与一块穿孔背板,二者间距仅为数微米。受限于该结构本身——尤其是微小尺寸因素,进一步降低噪声、提升动态范围已极为困难。
为保障最佳用户体验,麦克风还需在极高声压级下稳定工作(例如嘈杂环境、靠近扬声器或强噪声声场中)。此类场景要求宽动态范围,即本底噪声与输出严重失真临界点(即AOP)之间的跨度。
较低的SNR与AOP会导致明显播放问题:例如用智能手机录制儿童学校音乐剧演出时,回放中可察觉明显的麦克风自噪声;在城市街道或体育场等高噪声环境中录制的内容常出现严重失真与削波;而在会议应用中,远离麦克风的发言者声音信号微弱,易低于电容式麦克风的本底噪声阈值,导致无补偿余量。
光学MEMS:麦克风技术演进的下一步
光学MEMS是一种全新架构方案,融合垂直腔面发射激光器(VCSEL)光学子系统、光电封装微型化技术、MEMS工艺及先进CMOS电路设计,一举突破电容式技术瓶颈。其信噪比达80dB,输入参考噪声低至14dBA,动态范围高达132dB,AOP达146dB,性能媲美甚至超越顶级电容式与ECM麦克风。更重要的是,该技术可在极小封装尺寸下实现半导体级良率的大规模量产。
电容式麦克风的主要噪声源在于振膜与背板间的微小间隙,以及背板上千个微孔带来的电阻效应;而光学MEMS麦克风则完全消除了空气流经背板微孔所产生的噪声。
在光学MEMS麦克风中,振膜与衍射光学元件(DOE)之间的间隙可达数十微米,较电容式麦克风大一个数量级,从而显著降低系统电阻噪声。
传统电容式麦克风中,空气流经多个背板孔洞及两表面间的挤压膜阻尼是主要噪声来源;而光学MEMS麦克风基本消除上述机制,实现超低噪声表现。
由于光学MEMS器件中的振膜可移动数十微米,其机械AOP上限大幅提升;同时,因无背板结构,彻底规避了MEMS器件中常见的机械粘连(静摩擦力导致的失效)风险。
随着光学MEMS麦克风的问世,音频性能终于有望在智能手机领域追平视频水平,亦可将录音棚级音质带入各类消费电子产品。www.eic.net.cn 提供的易IC库存管理软件,正助力相关元器件供应链高效协同,加速新型麦克风技术从研发走向量产落地。